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台车退火炉
台车退火炉
台车退火炉

台车退火炉是一种用于制造半导体器件的工艺,包括加热若干半导体晶片以影响其电性能。热处理是为不同的作用而设计的?梢约尤染约し⒉粼蛹,将薄膜转换成薄膜或薄膜转换成晶片衬底界面,从而可以改变密集沉积的薄膜,可以恢复生长的薄膜,可以修理注入的损害,可以移动掺杂剂或将掺杂剂从衬底上转移。M薄膜到另一薄膜或从薄膜到晶片衬底。

 台车退火炉可以集成到其他炉处理步骤中,例如氧化,或者可以自行处理。退火炉是为半导体晶片加热而设计的设备。退火炉是一种具有节能结构和纤维结构的节能周期运行炉,节电60%。

 台车退火炉骨架采用多种型材焊接。外框以槽钢为主梁,外壳板为冷薄板,小车以槽钢为主梁,底板和前后端板为中板。

 台车退火炉传动部分:小车传动采用电机、减速器通过链条在前端驱动一组驱动轮。炉门驱动由蜗轮减速器和电动机驱动。

 密封:小车和炉体采用迷宫式密封结构,小车两侧装有自动封砂刀密封装置。门封采用滚道压簧自动压紧机构,以优良耐火砖结构密封炉体部分,符合炉子密封。台车承压部分采用高压铝砖砌体。

 台车退火炉燃烧系统:在油炉两侧安装多个燃烧器,热流在炉内往复流动,保护炉温均匀?梢愿菪枰≡褡远桶胱远嘈。


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